涂层靶材材料成分涂层靶材的材料成分取决于涂层的目的和目标金属。常见的材料有:1,硅(Si):用于制备硅(SiO2)薄膜,Metal靶材:Ti靶、al靶、Sn靶Su、Hf靶、Pb靶、Ni靶、Ag靶、Se靶、Be靶、Te靶、C靶、V靶、Sb靶、In靶、B靶、W靶、Mn靶、Bi靶,-0/SS、Nb靶、Mo靶、Co靶、Fe靶、Ge靶等稀土金属靶:Y靶、Dy靶、Ho靶、er靶、Tm靶、La靶、Ce靶、Pr靶等。铒Er2O3靶,氧化铥靶Tm2O3,氧化钬靶Ho2O3,氧化铕靶Eu2O3,氧化La靶La2O3,/,-2...
更新时间:2023-07-22标签: 靶材氧化废料废料 氧化铌靶材 全文阅读